潔凈工程觀感質(zhì)量要求國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(USA Federal Standard)209E(1992年)1m3=35.3ft3。 對(duì)照我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)及美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)可以看出,我國(guó)的3級(jí)標(biāo)準(zhǔn)與美國(guó)的1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)。從而可以看出隨著半導(dǎo)體行業(yè)從um量級(jí)向nm量級(jí)發(fā)展的過程中,潔凈室... [詳細(xì)]
發(fā)布日期:2018-03-09